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ISO 14644-1 潔凈室標準與傳統(tǒng)的美國聯(lián)邦標準209E Class(已廢止,但仍被行業(yè)參考)的等級對應(yīng)關(guān)系

Release Time:2025.07.14 Read:37

關(guān)于潔凈室的等級,有的人按ISO 14644標準來,有的人按已經(jīng)廢止的209E標準來,這兩者之間有個對應(yīng)的關(guān)系,目前還是有不少人分不太清楚,今天我們就一起來看下這兩個標準的對應(yīng)等級關(guān)系。

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ISO 1級:高于Class 1級,因為ISO 1級對0.1微米粒徑的最大濃度限值為10個每立方米,而Class 1級的限值為350個每立方英尺(1立方英尺=0.0283立方米)。

 

ISO 2級:接近Class 1級,ISO 2級對0.1微米粒徑的最大濃度限值為100個每立方米。

 

ISO 3級:等于Class 1 級,在0.5微米粒徑下,兩者的最大濃度限值相同 小于等于1000個。

 

ISO 4級:Class 10 級(十級),在0.5微米粒徑下,最大濃度限值均為3520個每立方米(ISO 4級)和100個每立方英尺(約合3520個每立方米,Class 10)。

 

ISO 5級:Class 100 級(百級),在0.5微米粒徑下,最大濃度限值均為35200個每立方米(ISO 5級)和1000個每立方英尺(約合35200個每立方米,Class 100)。

 

ISO 6級:Class 1000 級(千級),在0.5微米粒徑下,最大濃度限值均為352000個每立方米(ISO 6級)和10000個每立方英尺(約合352000個每立方米,Class 1000)。

 

ISO 7級:Class 10000 級(萬級),在0.5微米粒徑下,最大濃度限值均為3520000個每立方米(ISO 7級)和100000個每立方英尺(約合3520000個每立方米,Class 10000)。

 

ISO 8級:Class 100000級(十萬級),在0.5微米粒徑下,最大濃度限值均為35200000個每立方米(ISO 8級)和1000000個每立方米(約合35200000個每立方米,Class 100000)。

 

ISO 9級:Class 1000000級(百萬級),接近普通空調(diào)房間,未有嚴格限制。

 

注意點:

兩個標準的基準粒徑是不同的:209E以0.5微米粒徑為基準,而ISO 14644-1以0.1微米為基準,并允許測試多個粒徑(如0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm等)。

狀態(tài)定義:ISO 14644-1明確規(guī)定了空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)三種測試狀態(tài),而209E未作規(guī)定。

潔凈等級ISO 標準更科學(xué),209E標準已廢止,ISO 14644-1 是現(xiàn)行國際標準,但行業(yè)仍習(xí)慣用“Class X”表達潔凈等級或者潔凈度(如Class 100000十萬級)。  

 

ISO 1-3級(超高端)高潔凈等級,適用于半導(dǎo)體納米工藝、航天級精密制造等,需單向流(層流)和極高換氣次數(shù)(500次/小時以上)。  

ISO 5級(Class 100)最常見于關(guān)鍵行業(yè),如無菌注射劑生產(chǎn)、芯片光刻區(qū)等,需用高效過濾器或超高效過濾器。  

ISO 8-9級(普通潔凈環(huán)境) ISO 8(Class 100000)用于包裝、電子組裝等,ISO 9 接近普通空調(diào)房間,無嚴格顆粒限制。  

 

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